您好！歡迎訪問格里機電（無錫）有限公司網(wǎng)站！
全國服務咨詢熱線:
18036867368
18036867368
簡要描述：格里爾斯質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制，在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
產(chǎn)品型號：GRYLLS5900廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2024-08-06訪 問 量：5095詳細介紹
| 品牌 | GRYLLS/格里爾斯 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 差壓式 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 環(huán)保,化工,石油,電子,綜合 |
格里爾斯質(zhì)量流量控制器工作原理：
氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司特別的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。
注意:
質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣標定.
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分)
標準狀態(tài)規(guī)定為: 溫度-----273.15K (0℃);
氣壓-----101325 Pa （760mm Hg）
格里爾斯質(zhì)量流量控制器主要技術指標
1 | 量程范圍 | ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM |
2 | 準確度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 線性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重復精度 | ±0.2%F.S |
5 | 響應時間 | 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec |
6 | 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數(shù)字量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ，4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |
13 | 漏率 | 1×10\u001F-8SCCSHe |
14 | 底座材質(zhì) | 316L不銹鋼 |
15 | 密封材質(zhì) | 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠 |
16 | 氣路接頭 | Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
產(chǎn)品咨詢
產(chǎn)品分類
Product Category
地址：無錫市新吳區(qū)碩放街道新東安路50-7-59
郵箱：grylls2004@163.com
傳真：
電話
微信掃一掃
當前位置：